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面向TOPCon技术的PECVD研究进展
1、PECVD技术在薄膜沉积、原位掺杂等方面具有更高的实现效率是该技术具有潜在竞争优势的主要原因。
2、管式PECVD在全链条量产制程、成本控制等方面仍存在许多不足；潜在优势尚未转化为实际优势。
3、受限于银浆成本高、硅料成本高等行业共同影响因素，n型TOPCon电池的量产推广进程仍在推迟，这也影响了PECVD技术的开发进程。
4、管式PECVD能否真正走向量产仍是一个挑战，需要全行业共同努力。
